red-y smart controller流量控制器

red-y smart controller流量控制器

 

精確的氣體質量流量計和質量流量控制器,用於氣體的精確熱質量計和質量控制器特別適用於設備和工廠建設中的測量和控制任務。

1.精確而靈活的測量

流量計和流量控制器的高精確度和大動態範圍給人留下了深刻的印象。2個“標準”和“高性能”版本:

   a.精度高達最終值的±0.3%+測量值的±0.5%
   b.動態1:100(可根據要求擴展動態) 

2.模擬和數字:2合1

red-y smart系列的熱質量流量計和質量流量控制器 與現代MEMS技術一起使用,並且具有數字(Modbus RTU)和模擬接口作為標準配置

3.運行狀態顯示

流量測量和控制設備具有LED狀態顯示

4.安全快速的監管

 red-y smart控制器 具有非常嚴格的控制閥的工作原理(洩漏率優於1×10-6mbar L / S他)。建立時間約為300毫秒

5.red-y smart軟件

使用免費的get red-y軟件進行有效的設備管理:

   a.讀出實際值和溫度

   b.設定點規格

   c.改變氣體類型

   d.可視化測量數據

   e.設定控制參數

6.可選模塊軟件為 red-y

   a.數據記錄儀

   b.氣體混合器

   c.提供USB電纜,可輕鬆與PC通信

7.選件

   a.集成顯示
流量控制器的測量值,單位,總和設定值的顯示,多種氣體可通過流量計/流量控制器測量和控制多達10種不同的氣體

   b.Profibus
設備可通過Profibus接口提供:協議DP-V0,DP-V1

   c.工業以太網
的兩個工業以太網協議的Profinet RT和EtherCAT的可用

   d.顯示和控制單元PCU-10
PCU-10允許使用預定義的工藝配方操作多達10個流量計和控制器

   e.氣阻系統
模塊化的氣體合併系統可將多個數字流量計和流量控制器輕鬆集成到組合系統中

空氣/滿刻度自由選擇

閥體尺寸¼“從0…25毫升/分鐘到0…60 ln / min(從0…27 SCCM到0…64 SLPM)
閥體尺寸½”從0…60 ln / min到0…450 ln / min(從0…65 SLPM到0…480 SLPM)

標準”
的經濟解決方案

精度:滿量程的±1.0%

*量程比:1:50

高性能”
具有最高的精度和量程比
GSC <150 ln / min
(150 SLPM)(空氣))

精度:滿量程的±0.3%+讀數的±0.5%

*量程
比:1:100
*模擬信號可能會產生±0.25%的附加誤差

介質(真實氣體校準)

空氣*,O2 *,N2,He,Ar,CO2,H2,CH4,C3H8(根據要求提供其他氣體和氣體混合物)
* O2和N2用空氣校準

響應時間

±500ms *
*取決於設備配置並根據SEMI標準E17-1011,
在優化條件下量程的5-100%

重複性

滿量程的±0.2%(根據SEMI標準E56-0309)

長期穩定性

<每年測量值的1%

電源

24 Vdc(18 – 30 Vdc),根據要求提供15 Vdc

消耗電流標準

最大 250 mA(帶8型閥的GSC最大490mA)

電流消耗Profinet RT / EtherCAT

最大 340 mA(帶有8型閥的GSC,最大560mA)

操作壓力

0.2 – 11 bar a(3 – 160 psia)/ GSC,閥門類型4.5和最大8。8巴(120磅/平方英寸)

溫度(環境/氣體)

0 – 50°C(32 – 122°F)

車身材料

陽極氧化鋁,可選不銹鋼電拋光

封條

FKM,EPDM,可選FFKM

壓力靈敏度

<0.2%/讀數欄(典型值N2)

溫度靈敏度

每1°C 0.025%FS測量範圍類型(每1°F <0.012%)

熱身時間

<1秒 完全準確

輸出信號模擬

0-20 mA,4-20 mA,0-5 V,1-5 V,0-10 V,2-10 V

數字輸出信號

RS-485; Modbus RTU(從站);
可選LabView-VI :Profibus DP-V0,DP-V1 / Profinet RT / EtherCAT

過程連接

G¼”(BSPP *母頭),最高60 ln / min(64 SLPM)
G½”(BSPP *母頭),最高450 ln / min(480 SLPM)
*British Standard Pipe Parallel

入口部分

不需要

電氣連接

Sub D插頭,9極

安裝方向

任何位置(高於5 bar要諮詢製造商或垂直安裝)

試驗壓力

16 bara (240 psia)

洩漏率

<1 x 10-6 mbar l / s He

防護等級

IP50

電磁兼容

EN 61326-1

 

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