選擇真空幫浦怎麼做？給初學者的完整教學！

1.真空幫浦的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求

真空鍍膜要求1×10^-5mmHg的真空度，選用的真空幫浦的真空度至少要5×10^-6mmHg。通常選擇幫浦的真空度要高於真空設備真空度半個到一個數量級。

2.正確地選擇真空幫浦的工作點

每種幫浦都有一定的工作壓強範圍，如：擴散幫浦為10^-3~10^-7mmHg，在這樣寬壓強範圍內，幫浦的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強範圍為5×10^-4~5×10^-6mmHg。因而，幫浦的工作點應該選在這個範圍之內，而不能讓它在10^-8mmHg下長期工作。又如鈦升華幫浦可以在10^-2mmHg下工作，但其工作壓強應小於1×10^-5mmHg為好。

3.真空幫浦在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量

4.正確地組合真空幫浦

由於真空幫浦有選擇性抽氣，有時選用一種幫浦不能滿足抽氣要求，需要幾種幫浦組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華幫浦對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子幫浦，（或二極型非對稱陰極濺射離子幫浦）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空幫浦不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空幫浦出口壓強低於大氣壓，需要前級幫浦，故都需要把幫浦組合起來使用。

5.真空設備對油污染的要求

若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油幫浦，如：水環幫浦、分子篩吸附幫浦、濺射離子幫浦、低溫幫浦等。如果要求不嚴格，可以選擇有油幫浦，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

6.瞭解被抽氣體成分

氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空幫浦時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的幫浦。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在幫浦的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

7.真空幫浦排出來的油蒸氣對環境的影響

如果環境不允許有污染，可以選無油真空幫浦，或者把油蒸氣排到室外。

8.真空幫浦工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響

若工藝過程不允許，應選擇無振動的幫浦或者採取防振動措施。

9.真空幫浦的價格、運轉及維修費用

在使用許可的情況之下,應盡量選用價廉物美的真空幫浦。