Chem 20化學粒子計數器

世界領先的 20 nm 化學粒子計數器

領先的微電子製程需要非常乾淨的製程化學品，這些化學品經過高度過濾並調節至20 nm或更低的粒徑。20nm 粒子靈敏度，全新的 Chem 20 化學粒子計數器是世界上用於高純度製程化學品的最靈敏的粒子感測器。

有關化學品分配和包裝系統的大量數據證明，具有 20 nm 靈敏度的 Chem 20 感測器能夠檢測出比競爭產品較大的微粒子濃度，並具有更好的統計數據。Chem 20 化學粒子計數器是一種有價值的工具，可使廠務和製程工程師在影響製程和設備性能之前快速檢測和表徵化學品內微粒子的來源。

1.靈敏度範圍: 20 - 100 nm

2.先進的鐳射光學和感測器使檢測化學物質的靈敏度達到20 nm

3.內建化學流量計用於設定樣品流量

4.第一個能針對低和高折射率化學品進行優化的粒子計數器，以提高產品性能

5.Chem 20感測器，用於具有較低折射率的化學品

6.Chem 20-HI感測器，適用於硫酸和其他高折射率的化學品

7.內部洩漏檢測可以在內部化學品洩漏時提供警報

8.低流量檢測器和報警器，以確保資料一致

9.宏觀氣泡檢測器用於保護感測器性能

10.儀器配載LCD顯示數據

11.即時檢測 20 nm PSL 和 9 nm Au 微粒子

12.檢測產量限制粒子 (競爭技術無法達到)

13.在表面掃描或產量數據可用之前對粒子偏移作快速出反應

14.優化從裝卸裝置到製程點的化學品輸送系統

15.經由改善樣本數量統計來縮小製程管制範圍

16.使用兩種量測模式優化非常髒或非常乾淨應用的儀器操作，從而延展產品應用領域

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